台积电年底引入EUV试产:满足苹果A13需求
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【天极网手机频道】凭借着有意的代工技术和庞大的产能,台积电在这几年成为了半导体行业的焦点,旗下客户包括了苹果、AMD、赛灵思(Xlinx)、联发科、海思等客户,占据了一半以上的晶圆代工业务。
为了和台积电争夺苹果A系列处理器的订单,三星在这几年厉兵秣马,希望可以瓜分苹果A系列处理器,三星甚至在一口气购买了10台ASML生产的EUV光刻机,要知道ASML的年产能也不过12台,这对于其他准备转入EUV的半导体厂商来说并不是什么好消息。
不过苹果今年的A12订单全部交给了台积电,三星现在能做的就是做好7nm工艺再和台积电争夺苹果A13订单,台积电也在积极防范三星抢夺客户。
据台湾媒体报道,为了防止三星抢夺苹果A13处理器订单,台积电计划将7nm改进版产线试产的时间提前1个季度。按照台积电的计划,第一代7nm工艺采用DUV(深紫外光刻)技术。而苹果方面要求台积电要在2019年使用EUV制造A13处理器,所以台积电需要提前将EUV部署到产线之中。
台积电联席CEO刘德音之前透露,台积电将会在7nm工艺改进版上使用EUV光刻,5nm则会全面应用EUV光刻技术。目前有消息称台积电7纳米改进版进入小型试产,目前导入EUV的晶圆输出率已经大幅提升,下半年可望建立试产线,预计年底进行试产、明年正式量产。
极紫外光刻技术已经延后了很多年到来,而且目前的极紫外光刻还处于早期开发状态,包括英特尔等半导体厂商均表示EUV只会应用在少数需要极紫外光刻的地方,其他部分依然会采用DUV进行刻蚀。
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