北方华创刻蚀机1000腔顺利交付:12英寸已实现客户端28nm国产化替代
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【天极网手机频道】据北方华创官方发布,12月1日,北方华创lCP刻蚀机1000腔交付仪式在亦庄基地隆重举行。
据了解,北方华创公司于2001年成立,开始组建团队钻研刻蚀技术,2004年首台设备实现成功起辉,2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线,并于2007年获得国家科学技术进步二等奖。
在集成电路领域获得突破的同时,北方华创在积极将刻蚀技术横向拓展,目前应用领域已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28nm国产化替代同时,在14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中也发挥着重要作用。
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